Lĩnh vực của các hệ thống microelectromechanical (MEMS), đặc biệt là vi cơ khí đầu dò cơ khí, đã được mở rộng trong những năm gần đây, và sản xuất chi phí của các thiết bị tiếp tục giảm. Sử dụng vật liệu, quy trình chế tạo, và công cụ thiết kế ban đầu được phát triển cho ngành công nghiệp vi điện tử mạch
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.