MEMS Mechanical Sensors

Lĩnh vực của các hệ thống microelectromechanical (MEMS), đặc biệt là vi cơ khí đầu dò cơ khí, đã được mở rộng trong những năm gần đây, và sản xuất chi phí của các thiết bị tiếp tục giảm. Sử dụng vật liệu, quy trình chế tạo, và công cụ thiết kế ban đầu được phát triển cho ngành công nghiệp vi điện tử mạch