Nghiên cứu và chế tạo màng dẫn điện loại P SnO2 đồng pha tạp Sb và N từ bia SnO2 pha tạp Sb2O3 trong hỗn hợp khí ( Ar +X% N2 )

Ở nước ta hiện nay có nhóm nghiên cứu do Ts. Lê Trấn thuộc trường Đại Học Khoa Học Tự Nhiên - Đại Học Quốc Gia Thành Phố Hồ Chí Minh chủ trì, nghiên cứu về màng dẫn điện trong suốt loại p SnO2. Trong đó, để cải thiện tính chất điện loại p của màng SnO2 nhóm nghiên cứu đã tiến hành đồng pha tạp kim loại với phi kim N2.
Thật vậy, nhóm nghiên cứu của TS. Lê Trấn đã công bố công trình đồng pha tạp Ga và N vào màng SnO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC, công trình này đã khắc phục được hiệu ứng bù xảy ra ở màng SnO2 đơn pha tạp Ga, nồng độ lỗ trống của màng SnO2 đồng pha tạp Ga và N cũng được cải thiện rõ rệt so với đơn pha tạp Ga (nồng độ lỗ trống cao nhất đạt được là 6,99 x 10).
Bạn đang xem trang mẫu tài liệu này.