Mechanics of Microelectromechanical Systems

Cuốn sách này cung cấp một phạm vi bảo hiểm toàn diện cho cơ chế microelectromechanical hệ thống (MEMS), được phân tích từ một quan điểm của kỹ sư cơ khí như các thiết bị biến đổi một hình thức đầu vào của
năng lượng, chẳng hạn như nhiệt, điện, điện từ hoặc quang học, vào đầu ra cơ khí chuyển động